3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀是一種高精度的工件表面粗糙度 、輪廓測量分析儀器。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的輪廓分析包括兩種分析方法:
A、原始輪廓分析，是指沒經(jīng)過濾波處理及直線校正的實際輪廓,我們可以自己選擇校正直線來調(diào)整圖型，分析輪廓。具體方式見使用說明。
B、輪廓誤差是指濾除了粗糙度信號，并以分析起點和分析終點連線為基準(zhǔn)線的工件表面加工形狀，包括凸度、凹度、直線度等，我們可以通過參數(shù)選項里的輪廓濾波來選定輪廓濾波的切除長度分析圖形的每一點測量值是指采用較小二 乘法進(jìn)行了整個測量圖形傾斜校正后,在評定長度內(nèi)每一點與零點的相對值。我們可以在原始測量圖形上點擊工具欄的分析選擇選項,通過鼠標(biāo)移動來選擇分析范圍,在分析圖形上,我們可以通過鼠標(biāo)移動來看每一點的測量值，及離分析起點的距離。形狀誤差P t值是指評定長度內(nèi)的較高點與較低點的差值。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀操作步驟：
1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；
2、將夾具放置在載物臺上；
3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；
4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5、完成掃描設(shè)置和命名等操作；
6、點擊開始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；
7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8、進(jìn)入分析工具模塊，點擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類型；
9、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“提取剖面”圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??；
11、進(jìn)入分析工具界面，點擊“參數(shù)分析”圖標(biāo)，點擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。